一、分束元件/达曼光栅

 

       达曼光栅可计以实现激光光束分化为任意排列的子光束，同时不改变初始光束的特性（传输方向除外），其广泛应用在光互连、激光打孔、激光测量、激光表切等领域。本公司所设生产的一维达曼光栅的分束效率可达80%以上，对于二元多台阶刻蚀，效率可从85%到95%，且其多余的能量会以高阶杂散光的形式损耗掉。能量分布可根据客户需求任意定制，同时可以扩展为二维的分束效果。

 

       达曼光栅衍射发散角θ可由光栅方程计算得到，衍射发散角越大，对加工周期的要求越精细，一般要求初始光斑大小至少为刻蚀周期大小的3-5倍。
光栅方程：Dsinθ=λ
D为光栅周期；
λ为激光波长；
θ为衍射角。

 

二、多焦点元件

 

        多焦点元件可以实现对单一的入射激光光束，在沿传播轴的几个距离上同时聚焦，各焦点能量基本一致，且焦点近乎等间距分布。主要应用在激光深度切割、激光厚度切割、激光高度切割、激光过程监测、激光科学等领域。本公司可以根据客户对焦点个数和焦点间距的需求进行元件的定制。 

       多焦点元件通常需要配合一个聚焦系统进行使用，聚焦镜的焦点决定了中心焦点的焦距，在使用过程中应保证入射激光正入射到元件表面，如上图所示，且激光光斑大小需覆盖元件的最小需求光斑。

 

三、平顶光元件（top-hat）

 

       在激光微加工过程中，较之于传统高斯光束，均匀性高，边缘陡峭的平顶光束受到市场更大的关注。其广泛应用在激光切割、激光焊接、激光划线、薄膜处理、太阳能电池板切割等领域。本公司可以根据客户提供的参数：激光波长、输出光斑大小形状、工作距离对其进行元件的设计生产。

       典型的平顶光整形系统是由一个激光器、一个平顶光整形元件和一个聚焦镜组成，如下图所示，入射的高斯光束经平顶光元件进行相位调制最终在聚焦镜的近焦平面内获得平顶光斑。在此类平顶光元件中，要求入射光是质量因子小于1.3的单模激光，且在使用过程中要求先对激光进行扩束准直。

四、长焦深元件

       长焦深元件可以实现使入射激光在焦距附近产生一个能量基本均匀分布、焦深特别长的焦点，焦深的长度可达到几十微米到几毫米。本公司自主设计生产的长焦深元件，基于轴锥镜法实现的贝塞尔光束，在激光切割，激光打孔，圆环光束的产生等领域当中有极具优势的应用。可以根据客户需求定制不同大小参数的元件。

       长焦深元件系统是由激光器、轴锥镜和聚焦镜组成，入射光通过轴锥镜后得到了无衍射光束，其中心光斑在无衍射范围内的大小不变，配合聚焦镜，最终实现长焦深应用。

 

五、随机相位板

 

       随机相位板可以实现对入射光束的特定相位调制，应用在需要特定干涉场的激光应用中。本公司自主设计生产的随机相位板具有多设计维度、加工精确等优点。可以根据客户需要定制像素个数，像素大小和对应的调制相位等一系列参数。

六、衍射匀化元件

 

        衍射匀化元件可实现将单模激光或者多模激光输出为一个特定形状的均匀光斑，此光斑能量分布高度均匀。主要用于激光匀化、金属焊接、激光材料处理、激光测试、激光医疗等领域。本公司设计生产的衍射匀化元件不仅能保证光斑的均匀性，而且可实现锐利的边界和高的光能利用率。可以根据客户需求定制出不同发散角的光斑图案，在能量利用率方面，可以通过不同的刻蚀次数，满足不同需求。

        此类衍射匀化产品应该保证出射发散角至少为衍射极限发散角的5-10倍，在可实现的发散角范围内，发散角越大，其匀化效果越好。输入光参数的不同也会使匀化效果有差异，对于单模激光器可实现高均匀性、高光利用率、准确而锐利的边界、无中心亮点的匀化效果（下图左）。但对于多模激光器得到的图像变成一个近似的匀化光斑，其边界变得不够锐利，但是匀化效果明显有加强，其匀化的颗粒感减少（下图右）。